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项目名称:光掩模KrF光源缺陷模拟仿真设备
项目编号:0705-244121603126/01
招标范围:光掩模KrF光源缺陷模拟仿真设备
招标机构:上海国际招标有限公司
招标人:广州新锐光掩模科技有限公司
开标时间:2024-05-28 09:30
公示时间:2024-05-28 15:44 - 2024-05-31 23:59
中标结果公告时间:2024-06-03 08:56
中标人:卡尔蔡司(上海)管理有限公司
制造商:Carl Zeiss SMT GmbH
制造商国家或地区:德国
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光掩光源公告